青岛尚瑞晶电设备技术有限公司
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  • 企业级别:
    普通会员
    第9年
  • 所在地:
    山东省  青岛市
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    76
  • 所属类别:
  • 公司黄页:
  • 联系人:
    牛经理
  • 电 话:
    0532-87710997

青岛尚瑞晶电设备技术有限公司

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供应信息

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扩散炉炉体
信息类别: 烤盘
价格: 面议
信息标签: 烤盘
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物流: 青岛市  → 
配送支持: 48小时内发货 (货到付款)
联系人: 牛经理
信息编号: 56207047
联系我时,请告诉我是在中国行业信息网上看到的,可能会有优惠哦!
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扩散炉应用于半导体分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。

设备特点:
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停/继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
工艺气体的程序控制功能
关键部件全部具有高可靠性
具有良好的人机界面
系统故障自诊功能
停电后断点继续运行功能等等
具有历史记录功能
具有多点温度补偿
技术指标:

可配置工艺管外径2~8英寸
可配置工艺管数量:1~4管/台
工作温度范围:400~1300℃
恒温区长度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃
单点温度稳定性:800~1300℃±0.5℃/24h
可控升温速率:15℃/min
降温速率:5℃/min
以上展示的是【青岛尚瑞晶电设备技术有限公司】发布的【扩散炉炉体】相关文字及图片内容,主要包括扩散炉炉体生产厂家的价格、产地、厂家、图片等参数,还可以直接联系供应商询问价格! 【马上联系供应商】
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